真空鍍膜設(shè)備精密打造光學(xué)薄膜

       現(xiàn)代光學(xué)領(lǐng)域,從眼鏡片的防反射涂層到天文望遠鏡捕捉宇宙深空的鏡面,從智能手機攝像頭清晰的成像到激光器精準的能量傳輸,背后都離不開一類“看不見”的關(guān)鍵技術(shù):光學(xué)薄膜。而真空鍍膜設(shè)備,作為制備高質(zhì)量光學(xué)膜的核心裝備,在光學(xué)膜的生產(chǎn)中發(fā)揮著不可替代的作用。通過真空鍍膜技術(shù),能夠在光學(xué)元件表面精確地沉積一層或多層具有特定光學(xué)、物理性質(zhì)的薄膜,從而實現(xiàn)對光的反射、透射、吸收、偏振等特性的精準調(diào)控。

       真空鍍膜技術(shù),顧名思義,是在高度真空的環(huán)境下,將特定的材料(靶材)以原子或分子形態(tài)“搬運”并沉積到光學(xué)元件(基片)表面的過程。真空環(huán)境至關(guān)重要。

真空鍍膜設(shè)備在光學(xué)領(lǐng)域創(chuàng)造出種類繁多的薄膜:
1.增透膜: 減少透鏡、棱鏡、窗口表面的反射光損失,提高透光率(如相機鏡頭、眼鏡片、太陽能電池蓋板)。通過精心設(shè)計的多層膜系實現(xiàn)接近零反射。
2.反射膜: 在鏡面、激光腔鏡、望遠鏡中實現(xiàn)高反射率。金屬膜(鋁、銀、金)或介質(zhì)高反膜是核心。高功率激光反射鏡對低吸收、高損傷閾值要求極高。
3.分光膜: 將入射光按特定波長或比例分成反射光和透射光(如分光棱鏡、光纖耦合器)。
4.濾光片: 選擇性透過或阻擋特定波長范圍的光。
5.帶通濾光片: 僅允許很窄波段的光通過(如熒光顯微鏡、生化分析儀)。
6.長/短波通濾光片: 允許長/短于特定波長的光通過(如紅外熱像儀、色彩傳感器)。

7.陷波濾光片: 阻擋特定波段的光(如激光防護眼鏡)。

在光學(xué)薄膜領(lǐng)域,核心鍍膜技術(shù)占據(jù)絕對主導(dǎo)地位,主要包含兩大類:

一、真空蒸發(fā)鍍膜

  • 原理: 在真空室中加熱蒸發(fā)源(電阻加熱、電子束轟擊、激光等),使靶材熔化、蒸發(fā)或升華,產(chǎn)生的蒸氣原子在基片表面冷凝成膜。
  • 特點: 設(shè)備相對簡單,沉積速率較高,非常適合沉積多層介質(zhì)膜(如氟化鎂 MgF?,二氧化硅 SiO?,二氧化鈦 TiO?,五氧化二鉭 Ta?O?)。
  • 應(yīng)用: 廣泛用于制造增透膜、分光膜、反射膜等。電子束蒸發(fā)是當前光學(xué)鍍膜的主流技術(shù)之一。
二、濺射鍍膜
  • 原理: 在真空室中充入少量惰性氣體(如氬氣 Ar),施加高壓使氣體電離形成等離子體。等離子體中的高能離子(如 Ar?)轟擊靶材表面,將靶材原子“敲擊”出來(濺射),這些原子飛向基片并沉積成膜。
  • 特點: 膜層致密度高、附著力強、成分控制精準(尤其是反應(yīng)濺射制備化合物膜)、均勻性好,適合復(fù)雜膜系和大面積鍍膜。磁控濺射技術(shù)顯著提高了濺射效率和膜層質(zhì)量。
  • 應(yīng)用: 高性能要求的光學(xué)薄膜(如精密激光反射鏡、濾光片)、導(dǎo)電膜(ITO)、硬質(zhì)保護膜、復(fù)雜化合物膜系。
騰勝科技提供專業(yè)的光學(xué)膜制造真空鍍膜設(shè)備解決方案:
  • 光學(xué)多層膜連續(xù)鍍膜線: 專為玻璃/塑膠平板基片設(shè)計,立式多腔體結(jié)構(gòu)確保高穩(wěn)定性,支持大面積、大批量連續(xù)生產(chǎn),可靈活進行單/雙面鍍膜
  • 立式磁控濺射鍍膜機: 適用于光學(xué)膜及AF膜(防指紋膜) 制備,具備優(yōu)異重復(fù)性、穩(wěn)定性及強膜層結(jié)合力。配置多組平面/旋轉(zhuǎn)陰極與直流/中頻電源,廣泛應(yīng)用于消費電子(手機、平板、筆電、后蓋)及車載顯示等領(lǐng)域。

        真空鍍膜技術(shù),通過物理氣相沉積將功能性光學(xué)薄膜精密“鍍制”于元件表面,是現(xiàn)代光學(xué)的核心支撐。未來,該技術(shù)將持續(xù)向高精度、智能化、綠色環(huán)保方向深度發(fā)展。