等離子清洗

等離子清洗機特點

等離子體與固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也叫物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使其電離，就會使氣體變成等離子態(tài)。等離子體的“活性”成分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子表面處理儀就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進行處理，從而達到清洗、改性、光刻膠灰化等目的。

等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為控制單元、真空室和真空泵三大部分。

等離子清洗的優(yōu)點如下：

I)等離子清洗后清洗對象干燥，無需進一步干燥即可送往下一道工序。可以提高整個工藝線的加工效率；

2）等離子清洗使得使用者遠離了有害溶劑對人體的危害，同時也避免了濕法清洗容易損壞清洗對象的問題；

3）避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，使清洗后不會產(chǎn)生任何有害污染物，因此該清洗方法是一種環(huán)保的綠色清洗方法。在世界各國高度重視環(huán)境保護的今天，這一點顯得越來越重要；

4）無線電波范圍內(nèi)高頻產(chǎn)生的等離子與激光等直射光不同，等離子的方向性不強，可以深入物體的微小孔洞、凹陷處完成清潔任務，因此不需要過多考慮被清潔物體的形狀，而且對這些難以清潔的區(qū)域的清潔效果與氟利昂清潔效果類似甚至更好；

5）采用等離子清洗可以大大提高清洗效率。整個清洗過程可以在幾分鐘內(nèi)完成，因此具有良率高的特點；

6）等離子清洗需要控制的真空度在100Pa左右，而這個清洗條件很容易達到，因此該裝置的設備成本不高，清洗過程中不需要使用昂貴的有機溶劑，使得整體成本比傳統(tǒng)的濕法清洗工藝要低；

7）等離子清洗避免了清洗液的運輸、儲存和排放，因此生產(chǎn)現(xiàn)場易于保持清潔衛(wèi)生；

8）等離子清洗無論處理對象是什么，都可以使用。它可以處理多種材料，無論是金屬、半導體、氧化物，還是聚合物材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等聚合物）。因此，它特別適用于耐熱和耐溶劑的材料。而且可以選擇性地清洗材料的整體、局部或復雜結(jié)構(gòu)；

9）在完成清潔去污的同時，材料本身的表面性能也可得到改善。例如，改善表面的潤濕性能、提高薄膜的附著力等，在很多應用中都非常重要。